干式真空泵由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機(jī)等主要零件組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心地安裝在定缸內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個(gè)徑向滑動(dòng)旋片將泵腔分隔成四個(gè)工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進(jìn)排出口分離開來，周而復(fù)始運(yùn)轉(zhuǎn)，進(jìn)行變?nèi)?，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達(dá)到抽氣目的。

    由于干式真空泵沒有真空介質(zhì)(真空泵油、水等)，通過干式真空泵的氣體未受真空介質(zhì)的污染。因而回收溶劑是潔凈的。這樣真空下冷凝部份轉(zhuǎn)換成常壓下冷凝，大大提高了溶劑類物料的回收率，對真空下難冷凝的物料特別有利。通過該流程配置，排放的尾氣中已基本不含有機(jī)廢氣。另外，泵排空氣體通過列管式冷凝器的殼程后，噪聲也大為下降。 

    干式真空泵主要用于高純凈的真空工藝過程，真空度極高，因此可適應(yīng)惡劣工礦，可處理含可凝性蒸汽的氣體，含微小顆粒物的氣體。它具有低耗能、抽速大、使用壽命長、免維修、無需潤滑等特點(diǎn)，因此在石化、冶金、醫(yī)藥、生物工程、造紙、微電子工程等行業(yè)將全面替代技術(shù)含量低的真空設(shè)備。

    近來，半導(dǎo)體芯片制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出的要求，作為高真空泵不能有油蒸氣存在，因此無油的渦輪分子泵、復(fù)合分子泵在該領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。但是，前級泵還沒有真正解決真空系統(tǒng)無油污染的技術(shù)難題。1984年以前研制過一些實(shí)驗(yàn)室和專門用途的干式真空泵。但價(jià)格昂貴、運(yùn)行間隙過小，很難在商業(yè)上推廣應(yīng)用。國外首先研制了工業(yè)上實(shí)用的干式真空泵，將羅茨泵進(jìn)行六級串聯(lián)。之后又出現(xiàn)羅茨和爪型轉(zhuǎn)子組合起來的無油泵。總之，相繼出現(xiàn)了多種型式的干式泵，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

    隨著社會(huì)科技的發(fā)展，越來越多的行業(yè)，對清潔真空、環(huán)保等的需求嚴(yán)格，要求避免返油漏油的污染，因此干式真空泵得到了快速地發(fā)展。因?yàn)槠鸩捷^晚，很多企業(yè)用戶對干式真空泵的印象僅僅停留在爪式真空泵、螺桿真空泵少數(shù)幾類上。